આયનપંપ

આયનપંપ (Ion pump) : પાત્રમાંનું દબાણ 1 નૅનોપાસ્કલ જેટલું નીચું લઈ જવા માટે ઉપયોગમાં લેવાતો એક પ્રકારનો નિર્વાતક પંપ (vacuum pump). આ પંપ 1 માઇક્રોપાસ્કલ જેટલા નીચા દબાણે ઉપયોગી છે. અન્ય રીતો વડે પાત્રમાંનું દબાણ પૂરતું નીચું લાવી અવશેષી (residual) વાયુમાં ઇલેક્ટ્રૉનનો પુંજ (beam) પસાર કરવામાં આવતાં વાયુનું આયનીકરણ થાય છે અને તેથી બનતા ધનાયનો પાત્રમાં રાખેલા કૅથોડ તરફ આકર્ષાઈ ત્યાં ફસાઈ જાય છે. આ અવશોષાયેલા આયનો કૅથોડની સપાટીને સંતૃપ્ત કરતા હોવાથી આવા પંપની ક્ષમતા મર્યાદિત બને છે; આથી વધુ અસરકારક પંપમાં ધાતુની ફિલ્મનું સમક્ષણિક કણક્ષેપણ (sputtering) કરવામાં આવે છે. આવા પંપને કણક્ષેપ-આયનપંપ (sputter-ion pump) કહે છે.

જ. દા. તલાટી